반도체 노광장비 선두기업 네덜란드 ASML이 경기도 화성 New Campus(재제조․트레이닝 센터)가 착공을 개시하면서, 글로벌 반도체 장비 시장에서 60% 이상의 점유율을 차지하는 상위 4대 기업이 모두 한국에 R&D센터 등의 투자를 확대하는 등 국내 반도체 업계의 기술 경쟁력 확보에 큰 도움이 될 것으로 기대된다.
ASML은 16일 오전, 경기도 화성에서 ASML사 화성 N ew Campus 기공식을 개최하고, 산업통상자원부(장관 이창양)에서는 문동민 무역투자실장이 참석해 ASML사의 노광장비 재(再)제조․트레이닝 센터 착공을 축하할 예정이다.
행사에는 주최측인 ASML사의 피터 베닝크(Peter Wennink) CEO가 직접 참석한 가운데, 산업부 문 실장을 비롯해 김동연 경기도지사, 정명근 화성시장, 이원욱 국회의원(경기화성을), 수요기업 등 관계자 160여 명이 참석한다.
'84년 네덜란드에서 설립된 ASML사는 주로 노광장비를 생산하는 세계 반도체 장비 분야 시가총액 1위 기업으로서, 초미세 공정을 구현하기 위해 필수적인 극자외선(EUV) 노광장비를 사실상 독점적으로 생산해 공급하고 있다. 노광장비는 웨이퍼에 설계된 회로패턴을 그리는 장비로 광원의 파장이 짧을수록 공정 미세화가 가능하다.
ASML은 이번 화성 New Campus를 통해 심자외선(DUV)·극자외선(EUV) 노광장비와 관련한 부품 등의 재제조센터와 첨단기술을 전수하기 위한 트레이닝 센터, 체험관 등을 건립한다는 계획이다. 2025년까지 5년간 총 2400억원을 투자한다. 약 4848평(1만6000㎡) 규모다.
산업부는 이 시설의 한국 유치를 위해 2020년부터 경기도, 화성시, KOTRA 등과 함께 ASML사와 긴밀히 협력해왔으며, 지난해 11월 관계기관간 ASML 화성 반도체 클러스터 조성을 위한 투자협약이 체결됐다.
최근에는 차세대 EUV 장비 규제 개선 발표(9월) 등 한국 투자에 걸림돌이 되는 규제를 지속 완화하는 한편, 10월 문 실장의 네덜란드 본사 방문 등을 통해 추가적인 투자유치 협의를 계속해오고 있다.
이번 화성 New Campus 조성을 통해 글로벌 반도체 장비업계에서 높은 위상을 차지하는 ASML사와 국내 반도체 기업과의 협력이 더욱 긴밀해짐은 물론, EUV 노광장비 등 첨단장비 관련 소재·부품 공급망이 한층 강화될 것으로 평가된다.
문 실장은 축사를 통해 국내 첨단 반도체 클러스터 중 하나인 ASML사 화성 Campus가 첫 삽을 뜨게 돼 기쁘다면서, 동 시설이 지난 7월21일 발표된 한국의 반도체 초강대국 달성전략 추진과 함께 한국과 네덜란드, 양국간 첨단산업 생태계 협력 강화에 크게 기여할 것이라고 강조한다.
문 실장은 금번 화성 New Campus를 통해 건립되는 재제조센터와 트레이닝 센터 이상의 후속적 투자를 한국으로 유치하기 위해 ASML사와 지속적인 협력 채널을 유지하고 필요한 지원을 다할 것이라고 밝힌다.
산업부는 앞으로도 규제완화, 인센티브 강화 등의 외국인투자 환경 개선 추진과 함께 국가경쟁력 강화에 기여하는 첨단기업의 투자유치 노력을 지속할 예정이다.
